일반기술

반도체용 Etchant 제조공정을 폐수로부터 고기능성 LiF 합성과 응용기술

본 기술은 에칭용액 제조 시에 부생되는 불화수소산(HF), 불화암모늄(NH4F) 등을 함유하는 폐수를 이용하여 산업적으로 유용한 불화물인 LiF, LiBF4, CoF2, MgF2, LiBF4, CaF2 등을 고순도로 제조할 수 있다. 반도체용 기본소재인 실리콘웨이퍼용 에천트용액인 불소화합물이 고순도이며 에칭 후에도 그 순도가 매우 높은 점을 감안하여 사용 후에 회수하여 필요한 불소화합물을 제조하고 소기의 목적에 사용함을 기본방향으로 하고 있다.본 기술에의하여 제조된 LiF 는 리츔이차전지의 기본소재로 아주 중요하다.즉 양극재료인 LiCoO4와 상호 연계되는 전해질에 LiPF6 에 연계되어 이물질을 제조할 때에 LiF + PF5---- LiPF6 를 만들어 이것을 전해액으로 사용하는 중요한 원료가된다.그 외에도 용접봉재료의 플럭스에도 사용하며 고순도의 불소화합물자원(순도 99.99% 이상)의 고순도 제품을 얻을 수 있기 때문에 부가가치가 있는 소재라고 볼 수있다.매년 수십억원의 자원절약을 꾀할 수 있으며 수입대체효과를 기할 수있기 때문에 회수하여 친환경적이며 자원절약차원에서 매우 유익한 공정이라고 할 수 있다.