일반기술

대형 기판 편평도 측정장비

○ 대형기판의 편평도는 Penta-prism과 Auto collimator 등을 이용하여 기판의 휨 정도를 각 측정을 이용해 1~2초 내외로 측정할 수 있는 광학계이다. ○ 본 장치는 광학계 구성뿐만 아니라 측정된 값을 해석할 수 있는 프로그램이 핵심이며, 본 장치로 수 마이크로 미터의 굴곡을 측정할 수 있다. ○ 일반기판 뿐만 아니라 원통, 사각관 등의 내부의 편평도 등도 측정이 가능하다...................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................○ 구면, 비구면의 광학랜즈부터, LCD 기판, LCD 기판측정을 위한 로광기 등의 수 미터 이상을 정확히 측정할 수 있는 제품은 아직 전무한 형편임. ○ 1미터 정도의 측정을 위해 필요한 광학계나 3차원 측정장비의 대체가 가능하며, 기계가 커짐으로 인해 발생하는 기계적 오차를 최소한도로 줄일 수 있음...................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................