일반기술

링형 및 유니모프형 압전작동기를 이용한 변위확대기구

본 발명은 압전작동기에서 발생하는 미소 변위를 보다 큰 변위 및 정밀 위치 제어가 필요한 다양한 분야에 활용될 수있도록 압전작동기의 미소 변위를 확대시키는 장치에 관한 것으로, 상부에 적층형 압전작동기에 부착된 큰 피스톤의 내경 차이를 이용해 변위를 확대시키는 유압 챔버를 구성하고 하부에 작은 피스톤을 조립하여 유압 챔버로부터 공급되는 유체를 복수개의 유로를 통해 하부작은 피스톤의 상단과 하단에 공급되도록 하고 각 유로와 하부 작은 피스톤 사이에 링형 압전작동기를 이용한 밸브를 구성 하였다. 그리고 상부 챔버로부터 하부 작은 피스톤의 상단/하단에 공급되는 유체를 저장할 수 있는 어큐뮬레이터를 바디와 별도로 구성하고 하부 작은 피스톤과 어큐뮬레이터 사이에 유체의 공급을 조절하는 유니모프형 압전작동기 밸브를 구성하였다.본 발명의 링형 및 유니모프형 압전작동기 밸브를 이용한 변위확대기구는 상부 적층형 압전작동기의 상/하 작동과 동시에 하부 작은 피스톤이 상/하로 작동되는 기존의 변위확대장치 작동방식으로 작동하고 유니모프형 압전작동기 밸브와 링형 압전작동기를 이용한 밸브의 온/오프에 의해 상부적층형 압전작동기의 작동 방향에 의존하지 않고 하부 작은피스톤의 전진/후진 변위량을 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다. 압전작동기는 높은 발생력으로 미세 변위량을 낼 수 있기 때문에 초정밀 장비에 핵심 부품으로 사용 빈도가 높아지고 있다. 따라서 압전작동기 변위확대기구는 반도체 장비 또는 첨단 의료분야 등 수 마이크로 단위로 초정밀 제어가 필요한 분야에 확장 적용할 수 있다.