일반기술

가스센서용 마이크로 히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터

본 발명은 가스센서용 마이크로히터 제조방법 및 그에 의해 제조된 마이크로히터에 관한 것이다.상부면에 제 1 절연막이 형성된 웨이퍼의 상부에 폴리실리콘재질의 희생층을 평평하게 형성, 상기 가스감지막의 상부에 제 2 절연막을 피복한 후 포토마스크를 이용하여 제 2 절연막에 에칭홀을 형성, 상기 에칭홀을 통해 건식에칭을 위한 플라즈마가스를 불어넣어 등방성 식각작용에 의해 히터와 웨이퍼 사이에 U 모양의 단열공간이 형성되도록 한다.본 발명은 마이크로 히터 제조시 웨이퍼 상부에 희생층을 평평하게 형성할 수 있게되어 최종 생산제품에 단차가 크게 발생하지 않게되고, 건식에칭법을 이용하여 단열공간을 형성함에 따라 에칭공정이 끝난 후 단열공간 내부에 이물질이 남지않게되어 단열성능이 향상되는 효과를 기대할수 있도록 했다.일반적으로 가스센서는 가스 누출여부와 농도측정에 주로 사용되고 있으며, 향후에는 대체 에너지 분야에서 많은 응용이 있을것으로 예상된다.