일반기술

인듐염화물 용액을 원료로 하여 분무열분해 공정을 통하여 인듐산화물 분말을 제조하는 방법 및 이 방법으로 제조된 인듐산화물 분말

종래의 제조방법은 수열합성법 및 졸-겔 합성법 등에 의존한 실험실적 규모의 소량 제조에 불과한 단점이 있었으며, 입도가 마이크론 단위 이상인 고체 인듐 금속으로부터 평균 입도가 50nm 이하인 인듐산화물 분말을 연속적으로 제조하 수 없는 문제점이 있었으며, 이러한 해결 방법을 제공하는 기술이 전무 하였다.본 발명에서는 문제점을 해결하기 위해서 분무열분해 공정을 통하여 인듐산화물 분말을 제조하는 방법 및 이 방법으로 제조된 인듐산화물 분말을 제공하는데 그 목적이 있다.본 발명에 의하여 고체 인듐 금속으로부터 분무열분해 공정에 의해 평균입도 50nm 이하인 인듐산화물 분말을 매우 경제적으로 제조할 수 있으며, 이러한 방법으로 반복적으로 대량생산이 가능하여 수입대체의 효과 및 제조 비용의 절감의 효과가 있으며 분무열분해 공정에 의해 인듐산화물 분말을 연속적으로 제조할 수 있기 때문에 품질의 균일성이 우수하며 입자형상 및 입도분포도 상당히 균일하게 나타나고 있기 때문에 반도체 및 디스플레이 분야 등에서 요구되는 조건을 충분히 만족시킨다.