일반기술

전자선 패턴 온라인 측정기

본 발명은 전자선 패턴 측정에 관한 것으로, 특히 측정방식에 있어서 온라인 측정기에 관한 것이다. 전자선이 배분되는 영역에 같은 크기의 다수개의 전자포집기를 설치하여 각 포집기에 전자선의 양에 비례하는 전류가 흐르게 하고 이 전류값을 측정기에서 온라인으로 판독하여 전자선 패턴을 측정할 수 있게 하는 것이다. 전자선 가속기에서 발생하는 초고속의 전자선의 패턴을 측정하는 종래의 방법은 전자선에 민감한 화학물질을 도포한 필름을 전자선 가속기의 작업영역에서 전자선에 노출하고 상기 필름에 나타나는 전류값을 필름 판독기에서 판독하여 전자선 패턴을 측정하는 것이다. 상기와 같은 종래의 측정 방법은 전자선 패턴의 측정에 시간이 많이 소요되고 연속적인 측정이 불가능하며 전자선 패턴의 측정치에 오류나 오차의 발생 가능성이 존재한다는 문제점이 있다. 본 발명의 목적은, 전자선 가속기의 전자선 패턴을 실시간으로 측정하며 패턴측정치의 오류나 오차가 발생하지 않는 전자선 패턴 온라인 측정기를 제공하는데 있다. 본 발명의 구성은 전자선 가속기와 편향코일의 구성에서 전자선 가속기의 영역에 각 전자선을 포집하기 위한 포집기와 저항 그리고 A/D 변환기, 측정기로 이루어져 있다.본 발명의 전자선 가속기의 전자선 패턴을 측정하는 측정기는, 전자선 가속기의 작업영역에서 등간격으로 배설되어 전자선 가속기의 전자선을 포집하여 전자 신호로 변환하는 금속제의 전자포집기와, 상기 포집기에 포집된 전자선의 전자량에 비례한 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D변환기와, 상기 A/D변환기를 통해 입력된 디지탈 신호를 처리하여 전자선 패턴을 판독하는 전류 측정기와, 전자포집기에서 변환된 전자를 접지하는 저항선으로 구성되어 전자선 가속기에서 발생된 전자선을 포집하고 상기 전자선의 전자 신호를 디지탈 신호로 변환, 측정하여 전자선 패턴을 실시간으로 측정한다. 본 발명에 의한 전자선 패턴 온라인 측정기는 전자선 가속기에서 발생하여 편향코일에 의해 배분되는 전자선을 작업영역에 형성된 전자포집기에서 포집하여 전자신호로 변환하고 전자선의 전자량에 비례한 전자 신호를 디지탈 신호로 변환하고 판독하여 측정하므로 전자선 패턴의 측정을 실시간으로 실시할 수 있고 그 측정치에서 오류나 오차가 발생하지 않으며 전자선 패턴의 측정을 연속적으로 실시할 수 있다.