일반기술

첨가제를 이용한 GaAs 잉곳트 왁스 마운팅 방법

본 발명은 첨가제를 이용한 GaAs 잉곳트의 왁스 마운팅 방법에 관한 것이고, 보다 구체적으로는 GaAs 웨이퍼의 슬라이싱(slicing) 공정을 위하여 웨이퍼를 마운팅 하는 과정에서 잉곳트와 왁스 사이에 GaAs 분말과 왁스혼합물로 이루어진 중간층을 형성시키는 단계를 추가한 GaAs 잉곳트의 왁스 마운팅 방법에 관한 것이다.본 발명은 슬라이싱 톱의 수명단축과 웨이퍼 표면상태 불량의 문제점을 해결하기 위하여, 왁스층과 잉곳트 사이에 GaAs 분말과 왁스를 섞은 혼합물을 형성하는 단계를 추가한 GaAs 잉곳트 왁스 마운팅 방법을 제공한다.본 발명의 GaAs 잉곳트 왁스 마운팅 방법은 흑연에 웨이퍼 설치용 홈을 가공하고, 흑연의 웨이퍼 설치용 홈의 표면에 왁스를 도포하고 나서, 왁스와 GaAs 분말 혼합물을 왁스층위에 도포하고, GaAs 잉곳트를 흑연의 웨이퍼 설치용 홈에 고정시키고 나서, 왁스가 충분히 굳도록 방치하는 단계들로 구성된다.본 발명은 흑연의 상면에 웨이퍼 설치용 홈을 가공하고, 상기 웨이퍼 설치용 홈에 순수한 왁스를 도포하고 나서, 상기 왁스층위에 왁스와 GaAs 분말의 혼합물을 도포하고, 이어서, GaAs 잉곳트를 흑연의 웨이퍼 설치용 홈에 고정시키고 나서, GaAs 잉곳트의 좌·우에도 상기 혼합물을 도포한 후, 상기 왁스가 충분히 굳을 수 있도록 장시간 방치하는 단계들로 구성되는 첨가제를 이용한 GaAs 잉곳트 왁스 마운팅 방법이다.본 기술이 기존 기술보다 뛰어난 장점 및 특징은 다음과 같다.- 첫째, 슬라이싱시 슬라이싱 톱은 중간층까지만 자르기 때문에 점도차이에 의한 슬라이싱 톱의 수명단축을 방지할 수 있다.- 둘째, GaAs 분말과 혼합된 왁스는 왁스자체 보다는 점도가 떨어지기 때문에, 왁스 미립자가 슬라이싱 톱에 달라붙는 현상도 방지할 수 있다.