일반기술

집적형 박막 태양전지용 투명전극의 가공방법과 그 구조, 그 투명전극이 형성된 투명기판

본 발명은 박막 태양전지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조 공정시 발생되는 태양전지의 손실을 최소화하고 저가의 공정으로도 가능한 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 제조 방법은 (a)기판 상에 인접하고 있는 상호간 절연되도록 패터닝된 투명전극을 형성하는 단계와, (b)투명전극 위에 실리콘계 전지를 증착하여 태양전지(반도체)층을 형성하는 단계와, (c)태양전지층 위에 금속 재료를 열증발법에 의해 비스듬히 열증발시켜 1차 이면전극을 형성하는 단계와, (d)1차 이면전극을 마스크로 사용하여 태양전지층을 수직 또는 경사진 방향으로 식각하는 단계, 및 (e)1차 이면전극 위에 금속 재료를 열증발법에 의해 비스듬히 열증발시켜 투명전극과 접촉되는 2차 이면전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.따라서, 본 발명에 따르면 태양전지의 단위 소자간 절연 간격을 기존의 레이저 스크라이빙 및 플라즈마 화학 기상 가공법에 비해 수십배 이상 줄일 수 있어 유효 면적을 극대화할 수 있으며, 이에 따라 태양전지 모듈의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.본 발명은 박막 태양전지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조 공정시 발생되는 태양전지의 손실을 최소화하고 저가의 공정으로도 가능한 박막 태양전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 이단계 열증발법에 의해 단위셀들을 직렬로 연결하여 단위셀간 간격을 최소화 함으로써 기존보다 유효 면적을 넓히고, 이에 따라 손실율을 최소화할 뿐만 아니라 고효율을 실현하는 효과가 있다.본 발명의 제조 방법은 (a)기판 상에 인접하고 있는 상호간 절연되도록 패터닝된 투명전극을 형성하는 단계와, (b)투명전극 위에 실리콘계 전지를 증착하여 태양전지(반도체)층을 형성하는 단계와, (c)태양전지층 위에 금속 재료를 열증발법에 의해 비스듬히 열증발시켜 1차 이면전극을 형성하는 단계와, (d)1차 이면전극을 마스크로 사용하여 태양전지층을 수직 또는 경사진 방향으로 식각하는 단계, 및 (e)1차 이면전극 위에 금속 재료를 열증발법에 의해 비스듬히 열증발시켜 투명전극과 접촉되는 2차 이면전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다