일반기술

프로브 카드 및 그 제조방법

본 발명은 TFT (TFT LCD, PDP 등) 제조 공정 중 셀 (Cell) 공정의 최종검사단계에서 패널 (Panel) 상의 Data/Gate 라인의 모든 전극에 일괄 접촉시켜 Visual test를 수행하는 장치인 프로브 유닛 (Probe unit)과 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 는 전도성 와이어를 구부려 굴곡의 끝부분을 접점으로 사용함으로써 전극의 탄성을 향상시키고, 전극과의 평행도나 단차에 관계없이 안정된 접촉을 유지할 수 있으며, 점 접촉을 하는 탐침이 아닌 선 접촉을 하는 와이어를 사용함으로써 프로브 (Probe)에 의한 전극의 손상을 방지하는 와이어 프로브 유닛을 고안하였다.또한, 본 발명에서는 원형 또는 사각 지지대와 가이드 블록 (Guide block)으로 구성된 구조물에 전도성 박판과 절연 시트를 순차적으로끼워 넣는 방법 또는 절연 테이프를 부착하거나, 절연 물질을 코팅한 전도성 박판을 끼워 넣는 방법을 이용하여 제조함으로써, 기존의 블래이드 타입에 비해 생산성 향상 및 제작 단가를 낮출 수 있으며, 박판의 교환이 용이한 요철 타입 프로브 유닛을 고안하였다.본 발명은 전도성 와이어와 절연 와이어를 이용한 와이어 구조의 프로브 유닛과 전도성 박판 및 절연 시트를 이용한 요철 구조의 프로브 유닛에 관한 것이다. 와이어의 탄성을 이용하여 프로브의 접촉 특성을 향상시켰으며 전도성 박판 과 절연 시트를 순차적으로 배열하는 방법을 사용하여 작업의 효율성 및 교환의 편리성을 향상.이와 같은 본 발명에 의하면 기존의 바늘 (Niddle) 타입, 블레이드 타입 및 범프 타입의 프로브 유닛을 대체할 것으로 예된다.