일반기술

고온/대전류용 초소형 기계적 논리소자

본 발명에 따른 MEMS 기술을 이용한 고온/대전류용 초소형 기계적 논리소자는 고정부, 지지부, 돌기와 식각홀을 갖는 평판으로 이루어진 구조물과, 구동전극 및 출력전극을 서로 연결구성하여 다양한 논리소자를 구성할 수 있도록 한 것으로, 기존의 전자소자를 이용한 논리소자와는 달리 열 에너지에 의한 전자, 정공쌍 형성에 의한 스위칭 소자의 등가저항 변화가 없기 때문에 동작온도가 높거나 큰 전류가 필요한 응용에서도 오동작이나 동작 특성 변화의 우려가 없는 이점과, 또한, 기계적 스위칭 동작에 의해 논리소자가 동작하기 때문에 스위칭-오프상태에서 누설전류가 없으며, 항복전압이 매우 높은 이점을 가지도록 한 것이다.상술한 바와 같은 본 발명에 따른 고온/대전류용 초소형 기계적 논리소자는 고정부, 지지부, 돌기와 식각홀을 갖는 평판으로 이루어진 구조물과, 구동전극 및 출력전극을 서로 연결 구성하여 다양한 논리소자를 구성할 수 있도록 한 것이다. 따라서, 이와 같이 MEMS 기술로 제작되는 초소형 기계 구조물로 논리소자를 구성하게 되면, 기존의 전자소자를 이용한 논리소자와는 달리 열 에너지에 의한 전자, 정공쌍 형성에 의한 스위칭 소자의 등가저항 변화가 없기 때문에 동작온도가 높거나 큰 전류가 필요한 응용에서도 오동작이나 동작 특성 변화의 우려가 없는 이점이있다. 또한, 기계적 스위칭 동작에 의해 논리소자가 동작하기 때문에 스위칭-오프상태에서 누설전류가 없으며, 항복전압이 매우 높은 이점을 가지는 것이다.