일반기술

하프 메탈 Ｆｅ３Ｏ４박막 제조 방법

본 발명은 하프 메탈인 Fe3O4 박막 제조 방법에 관한 것이다. 하프 메탈 제조 방법에 있어서, (가) 챔버 내에 기판 및 Fe 타겟을 장착하고 상기 챔버 내부의 가스를 외부로 배기하는 단계; 및 (나) 상기 챔버 내부에 산소 가스를 1.0 내지 1.8 sccm의 유량으로 공급하여 상기 기판 상에 하프 메탈 Fe3O4 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조방법을 제공한다.본 발명은 하프 메탈인 Fe3O4 박막 제조 방법에 관한 것이다. 하프 메탈 제조 방법에 있어서, (가) 챔버 내에 기판 및 Fe 타겟을 장착하고 상기 챔버 내부의 가스를 외부로 배기하는 단계; 및 (나) 상기 챔버 내부에 산소 가스를 1.0 내지 1.8 sccm의 유량으로 공급하여 상기 기판 상에 하프 메탈 Fe3O4 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 하프 메탈 Fe3O4 박막 제조방법을 제공한다.본 발명에 따른 하프 메탈 Fe3O4 제조 방법에 의하면, 종래의 고온 공정을 거치지 않더라도 산소의 유량을 일정 범위에서 제어함으로써, 특히 자기 저항 소자에 매우 유용하게 사용될 수 있는 하프 메탈 Fe3O4 박막을제조하는 것이 용이해진다.본 발명에 따른 하프 메탈 Fe3O4 제조 방법에 의하면, 종래의 고온 공정을 거치지 않더라도 산소의 유량을 일정 범위에서 제어함으로써, 특히 자기 저항 소자에 매우 유용하게 사용될 수 있는 하프 메탈 Fe3O4 박막을제조하는 것이 용이해진다.