일반기술

써모파일 센서 및 그 제조방법

써모파일 센서 및 그 제조방법이 제공된다.본 발명에 따른 써모파일 센서는 기판(1); 상기 기판위에 형성되어 있는 단일층의 다이아프레임 막(10); 상기 다이아프레임 막(10) 상의 소정영역에 형성되어 온도를 감지하며, 하부에는 등방성 동공(13)이 형성되어 마이크로 브릿지 구조를 가지는 복수의 열전쌍(4); 상기 열전쌍(4) 상부에 형성되어 있는 절연막(5); 및 흑체(6)로 구성되는 것을 특징으로 한다. 본발명에 따른 써모파일 센서는 제조공정효율이 높고, 소자의 크기를 대폭 감소시킬 수 있으며, 감도 및 출력이 우수하다는 장점이 있고, 본 발명에 따른 써모파일 센서의 제조방법은 공정수가 대폭 감소되기 때문에 제조공정효율이 우수하고 제조단가를 절감시킬 수 있다.본 발명에 따른 써모파일 센서는 제조공정효율이 높고, 소자의 크기를 대폭 감소시킬 수 있으며, 감도 및 출력이 우수하다는 장점이 있다. 또한 본 발명에 따른 써모파일 센서의 제조방법은 공정수가 대폭 감소되기 때문에 제조공정효율이 우수하고 제조단가를 절감시킬 수 있다.본 발명에 따른 써모파일 센서는 제조공정효율이 높고, 소자의 크기를 대폭 감소시킬 수 있으며, 감도 및 출력이 우수하다는 장점이 있다. 또한 본 발명에 따른 써모파일 센서의 제조방법은 공정수가 대폭 감소되기 때문에 제조공정효율이 우수하고 제조단가를 절감시킬 수 있다.