일반기술

스핀밸브형 자기저항소자

본 발명에 따른 스핀밸브형 자기저항소자는 기판과, 상기 기판위에 적층된 하지층과, 상기 하지층위에 배치된 센서부를 포함하며, 상기 센서부는, 자장의 인가에 의해 자화방향이 변경 가능한 제1강자성층과, 자화방향이 고정된 제2강자성층과, 상기 제1강자성층과 제2강자성층 사이에 배치된 비자성의 스페이서층과, 상기 제2강자성층에 인접되게 배치되어 상기 제2강자성층의 자화방향을 고정시키는 반강자성층을 포함하여 구성되며, 상기 하지층은 비정질 CoNbZr합금에 의해 이루어진 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 따른 스핀밸브형 자기저항소자는, 고온으로 가열되는경우에도 자기저항비나 교환결합력 등의 주요특성이 크게 저하되지 않음은 물론 오히려 그러한 주요특성이 향상될수 있어서 우수한 열적 안정성을 가지게 된다는 효과가 있다.본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 이루어진 것으로서, 고온으로 가열되더라도 자기저항비나 교환결합력 등의 주요특성치이 크게 저하되는 것이 효과적으로 억제될 수 있도록 개선된 구조를 가지는 스핀밸브형 자기저항소자를 제공함에 목적이 있다.상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 스핀밸브형 자기저항소자는 기판과, 상기 기판위에 적층된 하지층과, 상기하지층위에 배치된 센서부를 포함하며, 상기 센서부는, 자장의 인가에 의해 자화방향이 변경 가능한 제1강자성층과,자화방향이 고정된 제2강자성층과, 상기 제1강자성층과 제2강자성층 사이에 배치된 비자성의 스페이서층과, 상기 제2강자성층에 인접되게 배치되어 상기 제2강자성층의 자화방향을 고정시키는 반강자성층을 포함하여 구성된 것에 있어서, 상기 하지층은 비정질 CoNbZr합금에 의해 이루어진 점에 특징이 있다.