일반기술

네트워크 형태로 연결된 반도체 나노선을 이용한 가스센서제작방법

개시된 본 발명은 네트워크(network) 형태로 연결된 반도체 나노선을 이용하여 산소나 질소, 일산화탄소, 이산화탄소를네트워크 접촉면에 존재하는 공핍층의 증가와 감소를 통하여 검출할 수 있는 소자를 제작하는 방법에 관한 것으로서, 본발명은 반도체 나노선을 이용한 가스센서 제작방법에 있어서, 전기적으로 절연된 기판상부에 스핀코팅(spin coating)방법을 이용해서 금속촉매를 배열시키는 촉매 배열과정; 상기 기판상부에 형성된 금속촉매를 핵으로 하여 반도체 나노선을 네트워크 형태로 성장시키는 성장과정; 및 상기 반도체 나노선에 열 증착방법을 이용해서 실린더(cylinder)형으로 금속전극을 코팅시키는 코팅과정으로 이루어진 것을 특징으로 한다.본 발명의 목적은 상기와 같은 요구에 의해 안출된 것으로서, 전기적으로 절연된 기판상에 네트워크 형태의 반도체 나노선을 성장시키고, 실린더형으로 금속전극을 형성한 네트워크 형태로 연결된 반도체 나노선을 이용한 가스센서 제작방법을제공함에 있다.따라서, 본 발명에 따른 네트워크 형태의 반도체 나노선을 이용한 가스센서제작 방법으로 인하여, 반도체 나노선 가스센서를 비교적 간단한 공정으로 대량생산할 수가 있도록 하는 효과가 있다.또한, 본 발명은 반도체 나노선에 실린더형의 금속전극을 형성시키는 제작방법이 여러 가지 반도체 나노선 전자소자의 제작에서 금속전극을 형성하는 방법으로 사용될 수 있도록 하는 효과가 있다.