일반기술

미립자 발생 장치

* 주요 내용일정량의 희석용 압축공기를 공급하는 압축공기공급부; 미립자의 원료인 분무용액을 저장하고 저장된 분무용액의 일정량을 공급하는 분무용액공급부; 압축공기공급부 및 분무용액공급부로부터 압축공기 및 분무용액을 공급받아 제1 미립자를 발생시키는 제1 컨디셔너; 제1 컨디셔너 및 상기 압축공기공급부로부터 제1 미립자 및 압축공기를 공급받아 제2 미립자를 발생시키는 제2 컨디셔너; 및 제1 및 제2 컨디셔너로부터 발생되는 제1 및 제2 미립자의 특성을 제어하기 위해 제1 및 제2 컨디셔너의 온도를 조절하는 제1 컨트롤러; 를 포함하는 미립자 발생장치.* 배경 및 요약 일반적으로, 미립자 발생장치는 나노입자와 같은 미세한 크기를 가지는 미립자에 관련된 연구를 수행하거나 ICR(Industrial Clean Room) 및 BCR(Biological Clean Room)과 같은 청정시설의 성능시험을 수행하는데 필요한 미립자를 발생시키는 장치이다. 이것은, 미립자를 발생시킬 때마다 미립자를 발생시키기 위한 원료인 분무용액을 직접 원하는 혼합비율로 혼합시킨 후 이를 분무기에 공급하여 미립자를 발생시키는 회분식 물질 충전방법을 사용했었다. 최근에는, 상기 회분식 물질 충전방법을 사용하여 미립자를 발생시킬 때마다 원하는 혼합비율로 분무용액을 혼합시켜 공급해야 하는 불편함을 해결하기 위해 연료저장장치에 분무용액을 혼합하여 충전함으로써, 미립자 발생시 자동으로 분무기에 분무용액을 공급하는 연속식 물질 충전방법을 사용한다. 그러나, 이러한 연속식 물질 충전방법을 사용한 미립자 발생장치는, 혼합된 분무용액을 충전해야함으로 직접 분무용액을 혼합시켜 충전해야 하며, 시간에 따라 이들의 혼합률이 변하여 발생되는 미립자의 특성이 균일하지 못하게 됨으로써, 사용시간에 대한 불균일성이 발생되는 문제점이 있었다. 또한, 컨디셔너(conditioner)가 추가적으로 필요하게됨으로써, 원하는 특성의 미립자를 얻기 위해 컨디셔너에 대한 추가비용의 문제와 이를 구비해야 하는 불필요한 운전공간으로 인해 사이즈가 커지는 문제가 있었다. 본 발명은 미립자 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연속적으로 분무용액을 공급하여 사용이 편리해지고, 두단개의 컨디셔너를 통해 원하는 조건의 미립자를 발생시키는 미립자 발생장치에 관한 것이다.* 구성 및 작용 본 발명은 미립자 발생장치에 관한 것으로, 일정량의 희석용 압축공기를 공급하는 압축공기공급부; 미립자의 원료인 분무용액을 저장하고 저장된 분무용액의 일정량을 공급하는 분무용액공급부; 압축공기공급부 및 분무용액공급부로부터 압축공기 및 분무용액을 공급받아 제1 미립자를 발생시키는 제1 컨디셔너; 제1 컨디셔너 및 압축공기공급부로부터 제1 미립자 및 압축공기를 공급받아 제2 미립자를 발생시키는 제2 컨디셔너; 및 제1 및 제2 컨디셔너로부터 발생되는 제1 및 제2 미립자의 특성을 제어하기 위해 제1 및 제2 컨디셔너의 온도를 조절하는 제1 컨트롤러;를 포함하는 미립자 발생장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명의 목적은, 분무용액저장부에 용액의 유량을 제어할 수 있는 펌프를 추가하여 일정량의 분무용액을 공급하고, 분무기 내에서 분무용액을 혼합시키고, 추가 컨디셔너를 하나의 장치에 일체로 구비함으로써, 균일한 미립자를 발생시키고, 사이즈를 줄일 수 있는 미립자 발생장치를 제공하는데 있다.* 효과 본 발명에 의한 미립자 발생장치는, 분무용액공급부를 두어 연속적으로 미립자를 발생시키는데 필요한 양만큼 분무용액을 공급하고, 컨디셔너 내에서 분무용액과 압축공기를 혼합시켜, 미립자 발생시 마다 혼합된 분무용액을 충전하지 않고 분무용액만을 충전함으로써, 운용상에 편리한 효과가 있다. 또한, 추가적으로 필요한 컨디셔너를 하나의 장치에 구비함으로써, 전체적인 장치의 사이즈를 줄일 수 있으며, 냉각챔버 또는 극미세입자 발생부를 추가하여 사용자가 원하는 특성을 지니는 미립자를 용이하게 발생시킬 수 있는 효과가 있다.