일반기술

이머젼 박막층을 구비하는 광변조 미세개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속 미세패턴 기록 시스템

* 발명의 개요기록매체에 미세 패턴을 기록할 수 있도록 하는 광변조 미세개구 어레이 장치로서, 매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 광량조절셀을 구비하며, 각 광량조절셀은 입사하는 광이 통과하는 정도를 개별적으로 조절할 수 있는 공간 광변조부; 매트릭스 형태로 배열된 1개 이상의 마이크로렌즈를 구비하며, 각 마이크로렌즈는 상기 각 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로렌즈 어레이; 상기 마이크로렌즈 어레이가 한쪽 면상에 부착되며, 광학적으로 투명한 재료로 이루어지고, 상기 마이크로렌즈의 초점거리와 실질적으로 동일한 두께를 갖는 기판; 상기 기판의 다른쪽 면상에 배치되고, 1개 이상의 미세 개구를 구비하며, 각 미세 개구는 상기 각 마이크로렌즈에 의하여 집속되어 상기 기판을 통과한 광을 방출시키는 개구 어레이; 고체 상태의 재료로 이루어지며, 상기 개구 어레이의 각 미세 개구의 주변에 배치되어 상기 기록매체의 표면과 상기 개구 어레이 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 간격유지층; 및 상기 개구 어레이로부터 소정의 두께를 갖도록 형성되며, 공기보다 큰 굴절율을 갖고 광학적으로 투명한 유전체로 이루어지는 이머젼 박막층 을 포함하는 광변조 미세개구 어레이 장치.* 발명의 과제본 발명은 공기보다 높은 굴절율을 갖는 유전체층을 개구 어레이와 기록매체 사이에 배치하여 광의 유효 파장을 줄임으로써 광속의 크기를 줄일 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.또한, 본 발명은, 근접장을 이용한 미세패턴 기록 시 개구와 기록매체, 특히 복수개의 미세개구를 구비하는 개구 어레이와 기록매체 사이의 간격을 균일하게 유지할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.* 발명의 효과본 발명에 따라, 광의 유효 파장이 짧아지고 집속 광속의 크기가 줄일 수 있는 미세개구 어레이 장치가 제공된다. 이에 따라, 기존의 광원과 포토 레지스터를 이용하면서 기록 밀도 또는 미세패턴의 분해능을 높일 수 있다.아울러, 복수개의 미세개구를 구비하는 개구 어레이를 이용하는 경우, 개구 어레이의 전체 영역에 걸쳐서 기록매체와의 간격이 균일하게 유지되는 미세패턴 기록시스템이 제공된다. 이에 따라, 요구되는 신뢰도로 기록매체에 정보를 기록할 수 있다.