일반기술

하드 디스크 드라이브 내부에서 발생하는 입자상 오염물질포집을 위한 입자 샘플러 및 그 입자 샘플러의 성능평가 장치

* 발명의 개요입자 샘플러에 있어서, 상하부가 관통된 원통 형상을 가지며 측면에 배출구가 형성되고 양전극을 형성하는 몸체부; 상기 몸체부 상부의 내경에 설치되는 노즐을 일측에 구비하며 하드 디스크 드라이브 내부의 샘플링 공기에 포함된 입자들을 유입하여 상기 노즐을 통해 상기 몸체부의 내부로 배출하는 유입관; 상기 몸체부 하부의 내경에 설치되며, 상기 몸체부의 내부로 유입된 입자를 포집하는 탈부착이 가능한 샘플링 기판을 구비하고, 상기 샘플링 기판이 음전극을 형성하도록 상기 샘플링 기판과 전기적으로 연결되는 전극; 상기 몸체부의 배출구에 설치되며 상기 샘플링 기판에 포집되지 않은 입자들을 외부로 배출하는 배출관; 상기 몸체부 하부의 내경에 설치되며 중앙에 형성된 구멍에 상기 전극을 일측 방향에서 끼워서 고정하도록 비전도성 물질로 구성된 바닥 커버; 및 상기 바닥 커버의 타측에 돌출된 상기 전극을 체결하여 고정하며 상기 전극으로 전원을 공급하는 나사;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 샘플러.* 발명의 과제본 발명의 목적은 하드 디스크 드라이브내에서 발생하는 마이크로 및 서브 마이크로 크기의 입자상 물질들을 저 유량에서 손실 없이 포집하고 샘플링된 입자들을 추가적인 작업 없이 전자 현미경, 오제이 전자 분광기 등으로 분석할 수 있는 하드 디스크 드라이브 내부에서 발생하는 입자상 오염물질 포집을 위한 입자 샘플러 및 그 입자 샘플러의 성능 평가장치를 제공하는데 있다.* 발명의 효과본 발명에 의한 하드 디스크 드라이브 내부에서 발생하는 입자상 오염물질 포집을 위한 입자 샘플러 및 그 입자 샘플러의 성능 평가장치에 의하면, 하드 디스크 드라이브내에서 발생하는 마이크로 및 서브 마이크로 크기의 입자상 물질들을 저 유량에서 손실 없이 포집하고 샘플링된 입자들을 추가적인 작업 없이 전자 현미경, 오제이 전자 분광기 등으로 분석할 수 있는 효과가 있다. 또한, 성능 평가 결과, 샘플러를 이용해 하드 디스크 드라이브에서 발생하는 입자상 오염물질을 포집할 경우 대부분의 서브 마이크론 입자(< 1㎛)들은 샘플러 외부에서 인가된 전기장의 영향을 받아 최대 90 %이상 포집되고, 또한 마이크론에 가까운 서브마이크론 입자들과 마이크론 영역의 입자(> 1㎛)들은 관성충돌(inertial impaction)에 의해 최대 90 %이상 포집되었다. 따라서, 본 발명의 입자 샘플러는 기존의 대기중에 존재하는 입자들을 샘플링하기 위한 샘플러에 비해 저 농도로 하드 디스크 드라이브내부에서 발생하는 입자들을 입자 크기에 관계없이 포집할 수 있는 효과가 있다.또한, 샘플링 기판을 샘플러로부터 분리하여 기판 위에 포집된 입자상 오염물질들을 전자 현미경 이미지 및 오제이 전자 분광기를 사용하여 성분 및 크기를 분석할 수 있는 효과가 있다.