일반기술

마이크로 압전 구동소자를 이용한 미세 화학 센서용 감지 소자 및 제조 방법

본 기술은 압전 재료, 전극물질 및 탄성재료를 이용하여 각종 화학 물질을 검출 할 수 있는 초소형 화학 센서 시스템의 감지소자를 제작하는 것으로 미세 구동소자는 cantilever, bridge 그리고 diaphragm의 형태를 가지며, 감지 대상물질의 흡착에 의한 소자 표면의 질량증가에 의해 미세 구동소자의 공진주파수가 변화하는 것을 감지 신호로 사용함. 기본 공진주파수 및 주파수의 변화는 소자로부터의 전기적 신호를 측정하여 이루어짐. 화학 가스 검출 센서는 그 응용 분야가 다양하여 국내외 대규모 시장을 형성하고 있다.본 기술은 황화카드뮴 박막을 2차적인 에칭이나 폴리싱의 작업 없이 미세 접촉 인쇄를 이용하여 선택적으로 원하는 두께의 황화물 박막을 형상화하는 방법에 관한 것으로 기술군의 발전방향에 부합되는 최신 기술이다. 본 기술은 기존 기술에 비하여 여러가지 장점을 가지고 있어, 산업의 파급 효과가 클것으로 생각되어 기술 수요가 높을 것으로 보인다.화학 센서(LPG, LNG, O2, CO, 연기 등의 경보기, 습도, 담배 연기 등의 검출기, 에어컨, 가연성 가스, 독성 가스 경보기, 각종 가스 검출기, pH 측정기, 이온 농도 측정기)에 이용가능할 것으로 판단됨.