일반기술

진공용 대변위 나노 스테이지

본 기술은 진공용 볼스크류와 피에조를 이용한 듀얼서보 개념의 대변위 나노 스테이지에 관한 기술로서, 보다 상세하게는 기존 스테이지의 미세 분해능과 정밀도를 향상시키기 위하여 볼스크류와 피에조를 직렬형태로 배치하여 구성된 스테이지에 관한 것이다.본 기술을 포함한 기술군은 현재 주로 반도체 리소장비, 디스플레이 증착장비, 전자빔 검사장비, 집속이온빔 가공장비 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다.본 기술은 고진공기술, 스테이지의 대변위 기술, 대변위의 나노분해능기술에 대한 중요성이 커지고 있으며, 기존 특허 및 장비기술의 경우 볼스크류와 피에조의 병렬형태로 구성이 되어 수백마이크로의 영역에 대해서는 나노분해능이 가능하나 본 기술의 경우 수백미리영역을 나노분해능이 가능한 특징이 있어 그 중요성이 증가하고 있다.본 기술은 스텝모터, 진공용 볼스크류, 피에조, 그리드 엔코더로 그 구성이 이루어지는 바 각 구성에 대한 내용은 다음과 같다. - 첫째, 스텝모터는 진공용 볼스크류를 회전하여 대변위 이송을 하게 하는 장치임 - 둘째, 고진공용 대변위 영역의 미세 이송이 가능한 정밀급의 이송장치임 - 셋째, 피에조 볼스크류와 직렬로 배치되어 대변위 영역의 나노분해능을 가능하게 만드는 미세 이송 구동 장치본 기술을 포함한 기술군은 현재 주로 반도체 리소장비, 디스플레이 증착장비, 전자빔 검사장비, 집속이온빔 가공장비 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다.본 기술이 위 응용분야의 기존 기술보다 뛰어난 장점 및 특징은 다음과 같다. - 첫째, 고진공에서 수백미리 전영역을 나노분해능이 가능하도록 구성이 가능함 - 둘째, 실제 구현 시 최대 20nm까지 구현이 가능하였음(성능 향상 가능성 여지 큼) - 셋째, 기존 리니어 모터 및 레이저 센서 사용 시 보다 원가절감효과가 우수함