일반기술

레이저 간섭계를 이용한 LCD 유리 두께 변화 측정 장치와 방법

- 본 기술은 유리의 양면에서 반사된 빛의 간섭현상을 이용하므로 원리적으로 1 nm 이하의 분해능이 가능함. 따라서 고성능 LCD 유리의 표면 요철을 측정할 수 있음- 원리상 유리의 진동이나 주위 환경의 온도 변화에 둔감한 측정 방법이고 레이저 광을 이용한 비접촉 방식이므로 LCD 유리의 제조공정에서 두께 변화를 측정하는 시스템으로 적용이 가능함- 측정 광학계가 4개의 소자만으로 이루어져 소형 제작이 가능하므로 센서 어레이의 형태로 제작이 가능하고 다양한 응용이 기대됨- 유리 두께에 비례하는 간섭신호를 얻을 수 있으므로 빠른 측정이 가능- 외부의 진동이나 온도 변화에 둔감하게 수 nm의 분해능을 갖는 정밀도로 LCD 유리 두께 및 요철을 측정할 수 있으므로 유리 제조 공정에 직접 사용할 수 있다.- 측정시 필요한 부품의 수량이 작고 값싼 부품을 사용할 수 있으므로 장치의 제작단가를 비슷한 정밀도의 상업적 제품에 비해 1/10 이하로 줄일 수 있다.- 측정을 위해 구동부가 필요하지 않고 유리 두께에 비례하는 간섭신호를 얻을 수 있으므로 고속 측정이 가능하다.