일반기술

초미세 탐침형 픽업장치

본 기술은 반도체 일관공정과 마이크로머시닝(micro-machining) 기법을 이용하는 초미세 탐침(probe)형 픽업장치(pickup device)의 제조에 관한 기술로서, 보다 상세하게는 실리콘(silicon) 기판의 양면에 다수의 식각 마스크(etching mask)를 일정한 순서대로 적층하면서 부분적으로 이방성 식각(anisotropic etching) 기법, 절단(dicing), 패키징(packaging) 등의 여러 반도체 제조공정을 통해 고밀도 정보저장장치의 픽업헤드(pickup head)에 사용될 수 있는 초미세 탐침형 픽업장치 및 제조방법에 관한 것이다.본 기술을 포함한 기술군은 AFM(atomic force microscopy), SPM(scanning probe microscopy) 등의 초정밀 표면분석기기분야, 고밀도 정보저장장치를 필요로 하는 채용하는 정보통신 분야 제품에 적용되고 있다.본 기술을 적용함에 따라 수평 및 수직방향 구동기를 일체화시켜 소자를 소형 경량화시키고 소자의 구동속도를 증가시킬 수 있어 표면분석, 정보저장 작업의 효율성을 기대할 수 있다는 점에서 그 중요성이 크다고 할 수 있다.본 기술은 탐침이 연결되어있는 외팔보, 콤 구동 액츄에이터(Comb-drive actuator), 압전액츄에이터(piezoelectric actuator) 등으로 그 구성이 이루어지며, 각 구성에 대한 내용은 다음과 같다. - 첫째, 부분식각된 다수의 실리콘 기판이 적층된 탐침과 외팔보, - 둘째, 외팔보를 수평으로 구동할 수 있도록 다수의 요철이 구비된 콤 구동 액츄에이터, - 셋째, 외팔보를 수직으로 구동하는 압전액츄에이터본 기술을 포함한 기술군은 AFM(atomic force microscopy), SPM(scanning probe microscopy) 등의 초정밀 표면분석기기분야, 고밀도 정보저장장치를 필요로 하는 채용하는 정보통신 분야 제품에 적용되고 있다.본 기술이 위 응용분야의 기존 기술보다 뛰어난 장점 및 특징은 다음과 같다. - 첫째, 반도체 일관 공정 및 마이크로 머시닝기법을 적용함으로써 양산성, 소형화, 경량화, 구동속도 등을 개선할 수 있다. - 둘째, 탐침과 집적화된 수평/수직 방향 액츄에이터에 의해 정밀도를 높일 수 있고, 구동전압을 낮출 수 있으며, 구동가능 주파수의 범위를 넓힐 수 있다. - 셋째, 결과적으로 정보저장장치의 픽업헤드에 응용하여 탐침형 고밀도 정보저장장치를 구현할 수 있다.