일반기술

전해드레싱을 이용한 초정밀 경면 연삭법

최근에 전자, 반도체 재료 광학 재료 및 세라믹 재료를 포함한 각종 경취성 소재에 대한 표면 거칠기, 치수, 및 형상의 고정도화(High Precision and High Accuracy)와 더불어 가공 면의 고품위화(High Surface Integrety)의 요구가 급격히 높아지고 있다. 현재 상기의 용도로 사용되고 있는 각종 경취성 재료의 고능률, 고정도 가공과 관련하여 가장 효과적인 연삭법으로 평가되고 있는 연삭기술로는 금속결합재 다이아몬드 숫돌(Metal Bond Diamond Wheels)을 사용하는 전해드레싱(Electrolytic In-process Dressing: ELID)경면 연삭법을 들 수 있다. 본 연삭법에 의하면 실리콘, 세라믹 재료를 포함한 각종 경취성 재료는 물론 철강재료, 고분자 재료 등의 경면 연삭이 가능하며 또한 높은 제거 효율을 얻을 수 있다. 이때 도달가능한 표면 거칠기는 #4000 숫돌을 사용할 경우에 Rmax 40nm 전후이며 더욱 평활한 면을 얻고자 할 경우에는 #8000 숫돌이 적용된다. 이 기술은 현재 국내의 수 업체에서 실제 생산에 적용되어 긍정적인 평가를 받고 있으며, 다수의 현장에서 적용이 검토되고 있다.