일반기술

광 픽업 장치의 제조방법

본 발명은 고밀도 광 정보 저장 장치를 이용한 광 발생기 모듈, 광 검출기 모듈, 그들을 결합한 광 픽업 장치 및 그들의 제조방법에 관한 기술로서, 보다 상세하게는 다수개의 포토 다이오드의 배열이 집적된 실리콘 기판을 광 검출기 모듈로 제공하며, 레이저 빔이 통과되는 출사구를 포토 다이오드 배열과 집적하여 구성되는 배열 및 그 제조에 관한 것이다. 본 발명을 포함한 기술군은 현재 주로 광 기록 매체 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다. 본 발명은 고밀도 광 정보 저장 장치용 광 발생기 모듈과 광 검출기 모듈 및 광 픽업장치를 초소형화 할 수 있는 이유로 그 중요성이 증가하고 있다. 본 발명은 실리콘 기판, 출사구 형성박판, 포토 다이오드로 그 구성이 이루어지며, 각 구성에 대한 내용은 다음과 같다. - 첫째, 캐비티가 형성되어 있는 실리콘 기판 - 둘째, 실리콘 기판의 캐비티 상측에 형성되며 광이 통과하는 출사구가 형성되어 있는 출사구 형성박판 - 셋째, 광의 상태 및 광 디스크로부터 반사되어 소정의 정보를 내포한 광 신호를 받아 들여 전기신호로 변환하여 검출하는 포토 다이오드본 발명을 포함한 기술군은 현재 주로 광 기록 매체 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다.본 발명이 위 응용분야의 기존 기술보다 뛰어난 장점 및 특징은 다음과 같다. - 첫째, 광 검출기 모듈과 광 발생기 모듈을 1개의 조립체로 구성함으로써 초소형으로 제작하는 것이 가능 - 둘째, 광 검출기 모듈과 광 발생기 모듈의 조립체를 구비한 광 픽업 장치를 내장하는 휴대용 제품을 초소형으로 제작하는 것이 용이 - 셋째, 미세가공기술 및 반도체 일관공정을 통하여 제작되므로 부품의 정밀도와 균일도를 높일 수 있고, 양산성을 향상시킬 수 있다.