일반기술

트래킹 속도 및 트래킹 정밀도를 향상시킨 광 픽업장치 및 그 제조방법

본 기술은 고밀도 정보저장장치에 사용되는 미세 광학계에 관한 것으로서, 광 픽업 장치의 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 기술로서, 소형의 경량화된 슬라이더 헤더를 이용하여 응답속도와 트래킹 속도 및 트래킹 정밀도를 향상시키는 기술에 관한 것이다.최근 보다 선명한 화상 정보에 대한 요구와 개인 정보 단말기에서 필수적인 소형, 경량화된 대용량의 정보 저장장치의 요구를 충족시키기 위해서는 정보 기록 밀도의 비약적인 증가가 필요하게 되었으며, 이에 대한 기술적 대응으로 광자기디스크가 각광을 받고 있다. 이러한 대용량의 정보저장장치에는 정보의 기록/재생을 위한 픽업 헤더의 트래킹 정밀도 역시 기록밀도의 증가에 대응하여 고도화되어야 하며, 이를 위해서는 픽업장치와 디스크 기판간의 간극을 미세하게 제어하는 슬라이더 헤드 기술이 필수적이며, 픽업장치의 소형 경량화가 필요하다.본 기술은 상부면에 할로우(hallo) 영역을 갖는 기판과 기판의 하부 면에 형성되어 기판을 부양시키는 에어_베어링 서페이스로 구성되며, 기판의 하/상부에는 다음과 같이 이루어져있음 - 첫째, 제 1마스크와 제2마스크를 형성하는 제1단계 - 둘째, 제1마스크를 1차 패터닝하여 기판 하부 가장자리 일부분에 노출시키고, 노출된 영역을 식각하여 리세스 영역을 형성하는 제2단계 - 셋째, 제1마스크를 2차 패터닝하여 기판 일부를 노출시키고, 노출된 기판을 식각하여 리세스 영역근처에 ABS를 형성하는 제3단계 - 넷째, 제2마스크를 패터닝하여 기판 상부의 중심부 및 가장자리 일부분을 노출시키는 제4단계 - 다섯째, 노출된 기판을 식각하여 기판 상부의 중심부에는 할로우 영역을 형성하고, 기판 상부의 가장자리에 경사면을 형성하는 제 5단계로 이루어짐본 기술의 장점으로는 - 첫째, 할로우 영역을 형성함으로써, 슬라이더 헤더의 소형화, 경량화를 통하여 응답속도의 개선 및 위치제어 정밀도를 향상시킬 수 있음- 둘째, 고밀도 광 정보 저장 장치 및 고밀도 자기 기록장치의 픽업 장치에 응용이 가능함- 셋째, 제조 공정을 반도체 소자 제조공정 및 마이크로머시닝 기술을 이용하여 ABS 및 경사면을 일체 집적화함으로서, 가공 정밀도를 높일 수 있으며, 양산성을 제고할 수 있음본 기술을 포함한 기술군은 현재 주로 광자기 디스크, 컴팩트 디스크 등 컴퓨터 대용량 보조기억 장치 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다.기존의 픽업 슬라이더 헤더는 질량이 커서 픽업 장치의 응답속도가 느리고, 위치 제어 정밀도가 낮으며 유체 역학적인 부양을 위한 ABS와 경사면이 슬라이더 헤드와 분리되어 제조되기 때문에 슬라이더 헤드의 부피가 크고, 가공정밀도가 낮다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위한 광 픽업장치의 슬라이더 헤더 및 그 제조방법은 다음과 같은 특징을 가진다. - 첫째, 상부면에 할로우(hallow) 영역을 갖는 기판과 기판의 하부면에 형성되어 기판을 부양시키는 에어_베어링 서페이스로 구성됨 - 둘째, 기판 하부의 일측에 자기장을 발생시키는 자기 헤드가 부착되거나, 할로우 영역의 중심부에 개구부가 형성되며, 개구부에는 솔리드 이머션 렌즈(SIL)이 부착됨 - 셋째, ABS는 상기 기판 하부의 양 가장 자리에 서로 대칭적으로 형성되며, 직선 형태이거나 또는 일부가 곡선 형태임 - 넷째, 할로우 영역의 측면은 기판에 대해 수직하거나 일정 각도로 경사진 형태임