일반기술

에어 베어링 서페이스를 갖는 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법

본 기술은 고밀도 정보 저장 장치의 픽업장치에 관한 것으로, 특히 유체 역학적인 부양에 의해 저장 기판과 픽업장치의 간극을 미소하게 유지시킬 수 있는 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다. 즉, 광의 회절한계를 뛰어넘는 해상도를 제공할 수 있는 근접장 광학계를 이용한 고밀도 정보 저장 장치의 픽업 장치중 픽업 헤더를 기록 매체인 디스크로부터 미소한 간극을 유지시킬 수 있는 공기 부상(에어-베어링) 서패이스 슬라이더 구조 및 제조방법에 관한것이다.본 기술은 최근 보다 선명한 화질 및 대용량의 정보 데이터에 대한 요구와 개인 정보 단말기에필수적인 소형, 경량화된 대용량의 정보 저장 장치가 요구되어지고 있으며, 이를 위해 정보 기록 밀도의 비약적인 증가가 필요하게 되었다. 광 정보 저장 장치나 자기 정보 저장 장치 모두 기록밀도를 높이고 축소된 비트 신호로부터 안정적인 신호 대 잡음비를 확보하기 위해서는 픽업 헤드와 기록 매체인 디스크 간의 간극을 줄여야 하는데, 이 미세 간극을 제어하기 위하여 본 기술이 필요되어지고 있다.본 기술은 정보 기록 매체와 소정의 간극을 유지시키는 에어-베어링 서페이스를 갖는 부상형슬라이더 헤드 관련 기술로서 다음과 같은 구성으로 이루어져 있다. - 첫째, 외부 광학계로부터 광을 투과하는 광사출구를 구비한 기판 - 둘째,기판에 소정 높이로 적어도 하나 형성된 패드 - 셋째,패드와기판의 에지 사이에 형성된 접착물 - 넷째,패드 상부에 적어도 두층 이상의 박막층이고, 하부보다 상부에 형성되는 박막층 의 열팽창 계수가 큰 물질로 형성된에어-베어링 서패이스 - 다섯째,에어-베어링 서패이스의 에지에서접착물을 경유하여기판의 에지까지 형성되고,연장된 부분을 갖는 테이퍼 구조물을 포함하여 구성되어 있음본 기술을 포함한 기술군은 현재 주로 광자기 디스크, 컴팩트 디스크 등 컴퓨터 대용량 보조기억 장치 등의 분야에 응용되어 제품화 되고 있다.본 기술은 다음과 같은 장점이 있다.미리 설계된 형상에 따라 희생층 상에 박막층을 가공하고, 희생층을 제거하여 바이메탈 박막층으로 된 현가 미세 구조물을 형성한 후, 일정 온도하의 조건을 주어 현가 박막층이 기판을 향해자동적으로 휘도록 하여 현가된 박막층을 기판에 형성되어 있던 접착물에 접착됨으로써 테이퍼구조물을 형성하게 되므로, 양산성 및 테이퍼 균일도를 개선시킬 수 있음 상기에서 언급한 기술의 장점을 이루기 위해 본 기술은 다음과 같은 특징이 있다.- 첫째, 기판에 적어도 하나의 패드로 구성된 단위 패드를 다수개로 형성하는 단계 - 둘째,기판의 이측에 접착물을 형성하고,패드 및 접착물이 형성된 기판에패드의 높이와 동일하게 희생층을 형성하는 단계 - 셋째, 적어도 둘 이상의 박막층을 차례로 형성하되,박막층은 하부보다 상부에 형성되는 박막층의 열팽창계수를 크게 형성하고박막층을접착물 상부까지 연장되도록패터닝하고희생층을 제거하는 단계 - 넷째,박막층의 열팽창 계수 차이를 이용하여접착물 상부에 형성된 박막층과 접착물을 부착하는 단계를 포함하고 있음