일반기술

산화아연계 투명전도막

ITO 대체용으로 가장 많이 연구되고 있는 산화아연(ZnO)계 투명도전막의 취약한 성질인 열적 불안정성[1] 및 화학적 불안정성 문제를 해결하기 위하여 주석(Sn)이 다량 함유된 비정질 상의 투명전도층을 이용하여 산화아연계 투명도전막의 열적 및 화학적 안정성을 향상시키는 것을 목적으로 한다. 본 기술은 산화아연계 박막 상부 또는 상부와 하부 층에 주석을 다량함유한 비정질상의 보호층을 형성하는 구성으로 되어 있으며, 이에 의하여 대기중에서의 열적인 안정성 및 산성 분위기에서의 화학적 안정도 증대시키는 효과를 가진다. 종래 기술의 단점 - 유럽특허[2] 및 한국 특허공개공보 [3] 에는 ITO 박막의 열적 안정성을 증가시키기 위한 목적으로 ITO 상부층에 Sb 또는 F이 도핑된 SnO2계 재료를 보호층으로 하는 기술을 보고하고 있다. 이 기술에서는 보호층으로 사용하는 Sb 또는 F이 도핑된 SnO2계 재료를 고온에서 증착하여야 투명전도성 보호막으로서의 기능을 가질 수 있다. 기술의 우수성 - 본 기술은 산화아연계 박막의 내구성을 증대시키기 위하여 비정질 상의 보호층을 사용하는 것을 특징으로 하며, 본 기술의 장점은 비정질 상의 보호층을 상온 및 저온 증착하는 것이 가능하여 폴리머 필름과 같은 flexible film에도 적용하기가 용이한 것을 특징으로 한다. 기술 요약 - 비정질 상은 주석을 주성분으로 하여 안정성이 있을 뿐 아니라, 400oC의 고온에서도 안정한 비정질 상을 유지하는 것을 특징으로 한다. 또한 Sb 또는 F이 도핑된 SnO2계 보호층 재료는 습식 식각이 거의 불가능하여 소자화를 위한 패터닝을 필요로 하는 경우 레이저 스크라이빙과 같은 기술을 적용하여야 하나, 본 기술에서 제공하는 비정질 상의 보호층은 조성을 조절하여 습식 식각도 가능하게 하는 장점을 제공한다. 국내외 시장 규모 2007년 예상 ITO coated glass의 세계시장 : 400 억불 규모 국내시장: 130 억불 규모 사업성 - ITO coated polymer film은 2006년 현재 세계적으로 400,000 m2 가 소모됨. 1 m2당 가격이 US$ 20 ~ 50대를 형성하고 있어 아직까지는 시장이 작으나 flexible 디스플레이와 같은 소자가 본격적으로 시장에 진출하게 되면 시장이 크게 확장될 것으로 전망.