일반기술

광민감성을 이용한 평판형 도파로 광소자 제작방법

광도파로 소재의 광민감성을 높이고 자외선 레이저광을 이용하여 평판형 광소자를 제작하는 기술로서 도파로층의 제작공정을 간소화시키고 제작공정상의 이물질 인입과 결정상의 형성을 저감시켜 광전송 효율 및 특성을 개선하기 위하여 증가된 도파재질의 광민감성을 활용하고 시준된 자외선레이저광을 사용하여 수동형 및 능동형 평판도파로 광소자 제작방법을 제공한다.종래 기술의 단점 - 기존의 방법인 착방법이나 에어로졸 화염가수분해증착방법, 이온교환법, 졸-겔법 등에 필요한 식각공정에 따른 이물질 인입과 결정상이 형성되는 등의 문제점 및 코어 영역의 확산 및 코어의 굴절률 변화 등의 단점이 있다.기술의 우수성 - 본 발명에 따르면 게르마늄과 희토류원소가 첨가된 광도파로를 제작하는데 있어 종래의 도파로 제작방법인 화염가수분해증착방법이나 에어로졸 화염가수분해증착방법, 이온교환법, 졸-겔법 등에 필요한 식각공정에 따른 이물질 인입과 결정상이 형성되는 등의 문제점을 해결할 수 있으며, 상부 클래드층을 열처리한 후 도파로 형성에 따른 코어 영역의 확산 및 코어의 굴절률 변화 등의 문제점을 해결할 수 있고, 마스크패턴을 형성시키기 위한 스퍼터공정 등을 제거할 수 있으므로 광도파로 제작 공정을 대폭 간소화하고 부수적인 문제점을 갖는 공정을 제거하여 재현성이 향상되므로 전반적인 광전송 효율 및 특성을 매우 효과적으로 개선할 수 있다.기술 요약 - 본 발명은 도파로층의 제작공정을 간소화시키고 제작공정상의 이물질 인입과 결정상의 형성을 저감시켜 광전송 효율 및 특성을 개선하기 위하여 증가된 도파재질의 광민감성을 활용하고 시준된 자외선레이저광을 사용하여 수동형 및 능동형 평판도파로 광소자 방법을 제공한다.세계 시장규모 : 25억원사업성 - 2006년 이후에 상용화를 목표로 하고 있으며, 본 기술이 적용되는 제품이 다양하여 산업적 파급효과는 비교적 클 것으로 예상된다.