일반기술
삼차원 정밀측정기술
●LCD, PDP, 반도체 웨이퍼, 나노소자 측정용 핵심기술●관련 기술 및 장비를 주로 미국, 일본 등에 의해 점유● 종래 기술의 단점 - 섭계나 레이저같은 부가 장비 사용 저가의 장비를 사용하여 측정 가격을 낮춤 잡음율 감소 및 신뢰도 향상 기법 개발의 필요●기술의 우수성 - 초점이 맞는 부분들로 구성된 실제의 모양과 같은형태의 FIS의측정 - FIS에 대한 Direct Fitting 방법은 FIS표면을 따라 영상의 초점 정도를 측정하여 측정치가 최대 값이 되는 위치를 찾아냄으로써 미세표면의 방향과 모양 측정
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 중소기업청
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-05-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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