일반기술

마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조 방법

●본 기술은 알루미늄을 함유한 화합물 반도체의 선택적 산화를 이용한 마이크로렌즈를 제작하고 제작된 마이크로 렌즈를 광전소자 상에 집적하여 제조할 수 있도록 하는 마이크로렌즈가 집적된 광전소자 제조기술이다.●종래 기술의 단점 - 마이크로렌즈 제조방법으로 공개된 기존 선행 기술은 렌즈 사이의 거리가 짧을 경우 렌즈들이 서로 접촉하게 되어 원하는 렌즈형태를 만들 수 없어 고밀도 마이크로렌즈 어레이의 제작이 불가능하다. 또한, 반도체 기판 쪽으로만 마이크로 렌즈의 형성이 가능하기 때문에 기판 밑면에서의 산란을 줄이기 위해 밑면을 연마해야 하고 기판에서 파브리-페롯 공진기 효과를 없애기 위해 무반사 막을 코팅한 후 렌즈를 형성해야 하며 리소그라피 시 광전소자와 렌즈를 정확히 정렬해야 하므로 집적 공정이 복잡하다는 문제점을 갖는다. ●기술의 우수성 - 초소형 고밀도의 마이크로렌즈 어레이의 제작이 가능하고 마이크로렌즈가 광전소자와 자기정렬 구조로 집적할 수 있어 저가의 마이크로렌즈가 집적된 광전소자의 제작이 가능하며 광통신, 광연결시스템의 패키징 비용을 절감시키고 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.