일반기술
외부자장이 가해지는 평면형 고주파 유도결합 플라즈마처리장치
●외부자장에 의해 플라즈마를 자화시켜 균일한 대면적의 고밀도 플라즈마를 발생시킬 수 있는 평면형 고주파 유도결합 플라즈마 처리장치에 관한 기술●수회의 나선형으로 감겨진 평면형 안테나를 사용하고, 적어도 2쌍의 전자석에 의해 안테나와 수직 방향의 자장을 처리챔버에 가해 플라즈마를 자화시키는 장치에 대한 기술●발명의 성격 : 개량발명●기술발전방향 : 성숙기●관련시장은 반도체 장비군
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 중소기업청
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2007-05-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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