일반기술

고주파 반도체 수동 소자 및 그 제조방법

본 발명은 인덕터 사이의 커플링 증가 및 Q값 저하를 방지하여 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 고주파 반도체 수동 소자 및 그 제조 방법에 관한 것임 종래의 와이어리스 송수신 장치나 휴대정보단말을 중심으로 수요가 높아지고 있는 RFIC에 있어서는, 수동소자, 특히 인덕터나 커패시터가 능동소자에 비해 큰 면적을 차지하기 때문에 고가의 반도체 기판의 대량 소비로 인하여 제조 비용 증가를 야기시킴 본 발명은 인접하는 인덕터 사이에 그라운드 쉴드를 형성하여 서로 격리시킴에 따라 기존의 방식과 비교하여 각 인덕터간의 간격이 좁더라도 인덕터 간의 신호 커플링이 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, Q 값 감소를 방지함으로써 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 이점이 있음 본 발명의 고주파 반도체 수동 소자는 소정의 하부 구조를 갖는 반도체 기판에 형성된 제 1 절연막과, 제1 절연막 상에 형성된 그라운드 패턴과, 그라운드 패턴이 형성된 제 1 절연막을 매립하는 제 2 절연막과, 제 2 절연막을 관통하여 그라운드 패턴의 일측에 연결되는 다수의 비아와, 제 2 절연막 상에 형성되며 그 일측이 비아에 각각 연결되는 다수의 인덕터용 금속 배선과, 금속 배선들 사이를 수평으로 가로지르도록 형성되며 양측 단부가 그라운드 패드에 연결되는 그라운드 쉴드 및 각각의 인덕터용 금속 배선의 일측에 연결되도록 제 2 절연막 상에 형성되는 신호 라인을 포함하여 구성됨