일반기술

박막필름 결함 검출장치

본 발명은 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 선형 입사 광원이 적분구에 입사되어 산란된 광원이적분구로부터 출력되도록 하여 박막 필름 결함을 검출하기 위한 적분구를 이용한 박막 필름 결함 검출 장치에 관한 기술 박막트랜지스터 액정표시장치는 개인용 컴퓨터 모니터와 텔레비전, 소형 통신기기에도 이용되어 폭발적인 수요를 보이고 있음이런 박막트랜지시터 액정표지장치의 기존 제조과정에서는 공기나 불순물 등의 층간 혼입이나 내부 결함이 발생하게 되거나 절단 시 절단면 가장자리에서 결함이 생기는 경우가 종종 발생되며 이러한 결함은 화질에 결정적으로 나쁜 영향을 주기 때문에 일반적으로 전수 검사를 수행하게 됨지금까지 이러한 전수 검사는 숙련된 작업자에 의한 육안검사로 대부분 이루어지고 있어 인력과 검사 시간이 많이 소요되는 문제점을 가지고 있음 본 발명에 따른 박막 필름 검출 장치는 선형의 입사 광원을 이용하여 빛의 산란에 의한 제품의결함을 검출함으로서 검출하는 작업 시간을 절약할 수 있어 작업의 효율성을 증대할 수 있음 본 발명에 따른 박막 필름 검출 장치는 받침대에 지지되며 좌,우 상면 양측에 이송가이드가 설치된 베이스판과 상면에 검사용 박막이 얹혀지며 상기 베이스판의 이송가이드와 결합되는 이송지그가 좌, 우 측면에 설치된 이송대와 상기 이송대를 이송하기 위한 이송수단과 상기 베이스판 하면에 설치되어 빛을 방출하는 빛 방출장치와 상기 빛 방출장치에서 방출된 빛이 상기 박막을 통과하여 내부로 투입되도록 상기 빛 방출장치에 대응되는 위치에 설치된 측정장치와 상기 측정장치는 본체와 좌반구와 우반구와 이들을 연결하는 원통체로 이루어진 몸체부와 상기 원통체의 일측에 형성된 광원입사부와 대응되는 반대편에 형성된 광원출력부와 상기 원통체의 상기 광원 입사부와 상기 광원 출력부 사이에 형성되어 산란된 광원이 확산 출력되는 확산광원출력부로 이루어진 상기 본체 내부에 형성된 적분구와 상기 적분구의 확산광원출력부 전방에 설치된 렌즈와 상기 렌즈 전방에 설치되어 확산 광원을 검출하는 광원검출부와 상기 광원검출부에서 검출된 확산 광원을 비교 분석하여 결함여부를 판정하고 결과를 알려주는 모니터링부로 구성되며, 상기 측정장치 양단에 설치되어 상기 베이스판에 고정 설치되는 지지대로 구성됨을 특징으로 함