일반기술

초고밀도 나노 배선 정밀 제어 기술

전착에 의한 미세회로 배선 형성시 우선 성장 방향과 - 결정립크기 제어 기술 - 복합 첨가제 적용에 의한 via hole/trench의 filling성 및 균일 전착성 향상 기술

기술정보

정보 없음