일반기술

오존 발생장치의 방전관

본 발명은 반도체 제조 장치에서 사용되는 오존발생장치의 방전관 구조에 관한 것으로, 특히 방전관을 조립형으로 구성하여 제조와 설치가 용이하고 파손 시 부분적인 수리가 가능한 오존발생장치의 방전관에 관한 것이다. 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극에서 발생된 오존을 배출하는 오존배출플랜지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.종래 기술의 단점 노화 및 열화 현상은 오존 발생장치의 방전관에 구비되는 가는 유리관 형태의 산소유입관 및 오존배출관에 집중되는데, 이 경우 산소유입관 및 오존배출관이 튜브에 일체형으로 결합되어 있기 때문에 부분적인 수리 및 교체가 어려울 뿐만 아니라, 부분적인 손상에 대해서도 방전관 전체를 교체해야 하기 때문에 필요 이상의 비용이 소요되는 문제점이 있다.기술의 우수성 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시 예를 가지는 본 발명인 오존 발생장치의 방전관에 의하면, 조립형으로 구성되기 때문에 필요에 따라 수리가 쉽고 손상된 부분만을 용이하게 교체를 할 수 있어, 유지보수가 편리한 장점이 있다. 또한, 일부가 노화 및 열화되어 파손된 경우에는 방전관 전체를 교체하는 것이 아니고, 손상된 부분만을 교체하면 되기 때문에 유지보수 비용이 현저히 감소되고 수명이 연장되는 효과가 있다.기술 요약 본 기술은 오존이 수중에서 산소보다도 더 잘 용해되는 경 향이 있다는 이점이 용수처리에 있어서 오존의 활용을 용 이하게 한다.국내외 시장 규모 - 오존을 이용한 응용제품의 개발이 지속적으로 이루어지고 있으며, 다수의 중소기업이 이들 응용제품과 오존발생장치를 개발 및 사업화를 추진하고 있다. 음이온공기 청정기는 (주)청풍에서 대대적인 마케팅과 함께 활발한 사업을 전개하고 있으며, (주)동호전자는 음이온 오존 복합발생기 및 음이온 오존을 이용한 각종 정화처리를 개발 및 사업화하고 있으며, 기타 오존발생기 관련 개발 및 사업을 추진 중에 있는 중소업체는 상당히 많다. 오존발생기는 미국, 독일, 일본 등의 수입품이 주류를 이루고 있으며, 국내에서는 국제오존(주), 오존스코리아(주), 율촌화학, 협진기술개발, 오조네이쳐, 일산텔레콤 등 다수의 업체가 시장에 참여하고 있다.사업성 - 오존을 이용한 응용제품의 개발이 지속적으로 이루어지고 있으며, 다수의 중소기업이 이들 응용제품과 오존발생장치를 개발 및 사업화를 추진하고 있으므로 다양한 진출 가능 시장이 존재하고 그 규모도 경제성이 있다고 판단된다.