일반기술

레이저 간섭계를 이용한 LCD 유리 두께 변화 측정 장치와 방법

본 기술은 유리의 양면에서 반사된 빛의 간섭현상을 이용하므로 원리적으로 1 nm 이하의 분해능이 가능함. 따라서 고성능 LCD 유리의 표면 요철을 측정할 수 있음원리상 유리의 진동이나 주위 환경의 온도 변화에 둔감한 측정 방법이고 레이저 광을 이용한 비접촉 방식이므로 LCD 유리의 제조공정에서 두께 변화를 측정하는 시스템으로 적용이 가능함측정 광학계가 4개의 소자만으로 이루어져 소형 제작이 가능하므로 센서 어레이의 형태로 제작이 가능하고 다양한 응용이 기대됨유리 두께에 비례하는 간섭신호를 얻을 수 있으므로 빠른 측정이 가능정밀 판유리 생산 공정에서의 유리 두께 변화 측정사업성 - 외부의 진동이나 온도 변화에 둔감하게 수 nm의 정밀도로 두께 및 요철을 측정할 수 있으므로 유리 제조 공정에 직접 사용할 수 있다. - 또한 필요한 부품의 수량이 작고 값싼 부품을 사용할 수 있으므로 장치의 제작에 소요되는 단가가 비슷한 정밀도의 상업적 제품에 비하여 1/10 이하로 줄일 수 장점이 있다. - 측정을 위해 구동부가 필요하지 않고 고속 측정이 가능하 다.