일반기술

수면요동기구 구비한 수위진단기술

일반적으로 화학증착은 특수한 화합물(화학 전구체)을 증기상태로 만든 다음 원하는 물체의 표면에서 분해/흡착되도록 하여 물체의 표면에 박막의 상태로 어떤 성분을 코팅하는 것으로 반도체 핵심공정 중의 하나이다. 한편 화학전구체는 용기 내에 보관되어 있다가 공정이 시작되면 반응로로 들어가 증착공정이 시작되게 된다. 그러나 액체의 화학전구체 재충전 시 수면이 떨려 초음파진단이 불가능할 경우가 있다. 따라서 액체재충전 시 수면을 흔들리지 않게 해주는 기술이 필요하다. 따라서 본 기술에서는 용기 내 격막을 통하여 용기충전부와 수위측정부위를 분리하여, 용기가 충전 시 수위의 요동에도 불과하고 확실하게 쉬위를 측정할 수 있다. 또한 용기위에 부유체를 설치하여 수위가 흔들려도 초음파 수위측정이 가능한 기술을 개발하였다.화학 증착 공정 시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법에 의하면, 반도체 제조공정 중 웨이퍼의 화학 증착 공정에서 초음파를 이용하여 전구체의 수위를 실시간으로 측정하여 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지함으로써 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 그러나 공정 자동화에 의해 재충전에 의해 용기를 교체하지 않고도 사용하려면 재충전 중에도 수위를 정확히 측정할 수 있는 기술이 반드시 필요하다. 이러한 기술을 바탕으로 전구체의 정확한 재충전 모니터링을 할 수 있으므로 전구체의 주입량을 정확히 제어할 수 있다. 따라서 본 기술은 센서를 용기밖에 설치하고 측정하는 기술이라 다른 어떤 기술보다도 재현성 확보가 쉽고 정확성 또한 뛰어나 추후 반도체 라인 등 산업체에 적용시 높은 경제적 효과가 기대된다. 반도체 분야 (화학증착, 유기금속화학증착, 원자층 증착 공정등) 디스플레이 분야, 기타 코팅 분야