일반기술

저굴절율 박막 제조방법 및 이를 이용한 무반사 코팅 방법

다공성 박막 미세 구조를 이용하여 매우 낮은 굴절률을 가지며 비등방성이 매우 작은 광학 박막을 제조하는 방법과 넓은 파장영역과 큰 입사각에서 투과특성이 우수한 무반사 코팅이 가능한 저굴절률 박막의 제조방법 및 이를 이용한 무반사 코팅 방법을 제공.고급 LCD의 경우 무반사 코팅을 실시하고 있으므로, 기존 관련 사업을 하고 있는 기업이 도입하여 바로 적용 가능하며, 이를 통한 생산성 향상 및 재료비 절감 등의 수익성 기대① 증착 프로세스의 단순화로 인한 생산성 향상 기대.② 단일 물질의 사용으로 챔버의 오염 최소화.③ 2-3층의 코팅으로 넓은 대역에서의 무반사 코팅이 가능하므로 재료비의 절감 효과 기대.④ 코팅시 두께 오차에 의한 반사율의 변화가 민감하지 않으므로 수율의 향상을 기대.⑤ 자외선(UV)영역, 가시광선(VS)영역 그리고 근적외선(IR)영역에 대해 응용이 가능하고 넓은 무반사 영역을 가지므로 각종 광학소자에 적용이 가능하므로 기존의 무반사 코팅을 대체가능.