일반기술
나노 입자 계측 기술의 개발
DMA는 기상중에 분산된 대전 입자를 전기 이동도의 입경 의존성을 이용하여 사이즈를 분급하는 장치이다. 이중원통 내부에 도입된 미립자는 시스 가스에 의해 흐름 방향으로 이동하면서 정전기력에 의해 내부 로드를 향해 끌어당겨진다. 내부 로드에 설치된 슬릿을 통해 취출한 입자는 같은 속도로 흐름을 가로지른 사이즈가 고른 입자이다. 취출한 입자의 사이즈는 인가되는 전압을 조절함으로써 임의로 선택 가능하고, 취출된 입자의 개수는 패러드 컵 전류계로 측정하고 사이즈 분포를 구할 수 있다. 매우 미소한 입자를 精度있게 측정할 수 있고, 또 부식성 가스에 대한 내성도 높다. 고감도이며 미량의 입자 측정이 가능. 나아가 저압에서 작동하기 때문에 여러 가지 공업 프로세스에서의 온라인 계측이 가능.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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