일반기술

오존 발생장치의 방전관

노화 및 열화 현상은 오존 발생장치의 방전관에 구비되는 가는 유리관 형태의 산소유입관 및 오존배출관에 집중되는데, 이 경우 산소유입관 및 오존배출관이 튜브에 일체형으로 결합되어 있기 때문에 부분적인 수리 및 교체가 어려울 뿐만 아니라, 부분적인 손상에 대해서도 방전관 전체를 교체해야 하기 때문에 필요 이상의 비용이 소요되는 문제점이 있다. 이전 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 오존 발생장치의 방전관을 서로 분리 가능한 두개의 석영관과 두개의 석영관을 고정하면서 산소를 유입하거나 오존을 배출하기 위한 통로가 마련되어 있는 플랜지로 구성함으로써, 필요에 따라 유지보수가 용이하고 사용 수명을 한층 더 연장시킬 수 있는 오존 발생장치의 방전관을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.본 발명은 반도체 제조 장치에서 사용되는 오존발생장치의 방전관 구조에 관한 것으로, 특히 방전관을 조립형으로 구성하여 제조와 설치가 용이하고 파손 시 부분적인 수리가 가능한 오존발생장치의 방전관에 관한 것이다. 제1 석영관과 제2 석영관 사이에 형성되는 간극에서 발생된 오존을 배출하는 오존배출플랜지를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.오존 발생장치의 방전관을 서로 분리 가능한 두개의 석영관과 상기 두개의 석영관을 고정하면서 산소를 유입하거나 오존을 배출하기 위한 통로가 마련되어 있는 플랜지로 구성함으로써, 필요에 따라 유지보수가 용이하고 사용 수명을 한층 더 연장시킬 수 있는 오존 발생장치의 방전관을 제공하는 것이다.