일반기술

극저조도 전해동박의 제조 방법 및 그장치

본 기술은 인쇄회로기판에 필요한 특성인 프리프래그(prepreg)의 절연성 및 동박의 에칭성이 우수한 동박의 제조에 관한 것으로서, 특히 극저조도(Very Low Profile) 및 인장강도와 연신율을 향상시키기 위한 동박의 제조방법 및 그 장치에 관한 것이다. 종래 기술의 미국특허 제5,181,770호에서는 저농도 염소이온 및 고농도 젤라틴이 포함된 동전해액을 이용하여 저조도 동박을 제조하는 방법이 알려져 있으나, 조도가 4μm 이상이고, 매트면의 결정립이 조대화하여 에칭성이 뛰어나지 못하는 등의 문제가 있다. 본 기술은 이러한 문제점을 개선하기 위한 것으로, 동박제조시 전해장치에 젤라틴농도가 각각 다른 동전해액으로 하여 1단계에서는 저농도 젤라틴을 포함한 동전해액으로 제1층을 얻고, 2단계에서는 제 1 층의 상면에 고농도 젤라틴을 포함한 동전해액으로 한 2층구조를 형성시키므로서 매트면의 결정립 크기 및 균일도를 크게 향상시켜 매트면 결정립 크기로 인한 미세회로 형성방해를 억제할 수 있는 극저조도와 향상된 물성을 갖는 동박을 얻는데 그 목적이 있으며, 극저조도 전해동박의 제조방법과 극저조도 전해동박의 제조장치를 제공하는데 있다. 본 기술은 양극(anode)과 회전하는 드럼통의 음극을 구비한 전해장치에 동전해액을 공급하면서 음극표면에 동을 전착시켜 동박을 얻는 것에 있어서, 저농도 젤라틴이 혼합된 동전해액을 공급하여 음극의 표면에 제1단 계층이 전착되게 하고 연속하여 고농도 젤라틴이 혼합된 동전해액을 공급하여 상기 제1단 계층 표면에 제2단계층이 전착되게 함을 특징으로 하는 극저조도 전해동박의 제조방법으로 구성되어 있다. 본 기술은 불용성 양극과 회전하는 음극사이에 저농도 젤라틴과 고농도 젤라틴을 각각 포함한 동전해액을 공급하여 음극의 표면에 저농도 젤라틴 함유 동전해액을 전착시켜 제1단 계층을 얻은 다음 상기 제1단 계층이 핵생성 또는 성장 초기가 될 때 상기 제1단 계층 표면에 고농도 젤라틴 함유 동전해액을 전착시키므로 극저조도를 비롯한 미세 결정립을 갖게 하여 IC, LSI 등 반도체의 소형화, 고밀도회로 초박판 및 미세회로(Fine pattern) 등의 인쇄회로기판에 필요한 특성인 프리프래그의 절연성 및 동박의 에칭성이 우수하고 인장강도와 연신율이 향상된 전해동박을 얻을 수 있는 장점이 있다.