일반기술

반도체 연소 제어용 센서의 제조 방법

본 기술은 반도체 연소제어용 센서의 제조방법에 관한 것으로, 특히 가스검지소자와 온도보상소자가 일체로 되는 반도체식 연소제어용 센서의 제조공정을 간단화하여 센서의 높은 재현성과 제조비용을 대폭 절감할수 있도록 한 것이다.일반적으로 가스온풍난방기등의 배기구에 탑재되는 연소제어용 센서는 알루미나(A12O3)기판상에 가스검지소자와 온도보상소자가 소결 형성되고 이들 소자는 기판의 Pt 전극에 접속연결된 것이다.본 기술은 높은 재현성을 가지면서도 염가로 되는 연소제어용 센서를 제공하고자 함인 바, 소량의 납(Pb), 황(5)과 소결억제재인 알루미나를 첨가하여 혼합, 분쇄한 가스검지소자용의 산화아연 분말과, 순수한 온도보상소자용의 산화아연 분말을 하소(calcination)처리하여 각각 분쇄한 다음, 이들을 a-테르피네올(a-terpineol) 과 에틸 셀룰로오스(ethyl cellulose)로써 페이스트(paste)로 형성한다.온도 보상 소자와 가스 검지 소자의 소결 온도를 동일하게 하고, 센서의 재료로서는 타 산화물 반도체보다 소결 온도가 낮은 산화 아연(ZnO)를 사용하며, 온도 보상 소자는 산화 아연으로만 제작되고, 가스 검지 소자를 산화 아연에 소결 억제재로서 알루미나(Al2O3)를 첨가하여 다공성을 부여하여, 높은 재현성과 염가의 센서를 제공한다.