일반기술
배기가스의 제거방법 및 그 장치
반도체 기판 제조장치는 배기가스 처리장치의 관리를 위한 정지로 인해, 운전이 중단되어 생산성이 저하한다. 관리를 위한 정지의 요인은 반응생성물에 의한 배기가스관의 폐색과 스크러버 약액의 성능 열화이다. 본 발명은 이 두가지 점에 구체적 해결책을 제공한다. 배기가스 투입구 부근에 부착 성장하는 반응생성물을 깍아 떨어뜨리는 수단①과 순환 사용되는 약액의 일부를 운전을 정지시키지 않고 신선한 약액으로 교환할 수 있는 수단②를 갖춤으로써 스크러버의 관리를 위한 정지 간격을 종래의 2주간에서 2개월 이상으로 연장시킨다.
기술정보
- 기술분류
- 환경 > 기타 사전오염예방·청정요소 기술
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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