일반기술
기포분리제거방법 및 그 장치
성막 속도 혹은 성막 두께를 성막장치에 송입하는 액체 원료의 유량으로 제어하는 방식에서는 정밀 유량계로서 펠티에 소자를 이용한 매스 플로 센서가 다용되고 있다. 액체용 매스 플로 센서를 기포가 통과하면 큰 제어 오차를 일으킨다. 유량에 대해 충분한 체류 시간과 액면제어기능을 갖는 직관의 기액분리장치에 의해 유량계로의 기포 통과를 방지한다. 매스 플로미터의 직전에 간단한 구조로 착실하게 작동하는 직립형 기액분리관을 설치하고, 액체로 설정된 同미터를 기포가 통과함으로써 발생하는 유량제어계의 오작동을 방지한다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 에너지·환경기계
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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