일반기술
기상 성장 장치에서의 매스 플로 컨트롤러의 교정방법
성막장치의 매스 플로미터의 정밀교정에는 그 때마다「비누막 유량계」와 같이 기준유량계와 분리 접속할 필요가 있고, 교정에 시간이 걸린다는 점과 불순물 혼입의 위험이 있었다. 본 발명은 일체적으로 짜넣은 旣知의 용적 탱크의 압력·온도 변화로부터 기준 유량을 산출하는 방법에 의해 이 문제를 해결. 매스 플로미터의 교정에 있어, 기준 유량계와의 분리·결합을 회피하기 위해 유량계내에 압력, 온도가 계측 가능한 탱크를 설치하고, 이 압력·온도 변화로부터 기준 유량을 얻도록 했다. 관로의 분리 결합이 없기 때문에 불순물의 혼입도 없고 교정작업도 용이해진다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 계측기기
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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