일반기술
기상 성장용 반응로의 세정방법 및 그 장치
통상의 방법으로는 떨어지기 어려운 할로겐화 금속을 이용한 반응로의 부착 중합물은 2vol% 이상의 과산화 수소 수용액에 의해 비교적 용이하게 제거되는 사실이 판명되었다. 회전 브러시나 세정액 순환공급장치와 조합한 시스템을 실용화했다.① 세정수로 배액(排液)이 PH4∼7정도가 되기 까지 세정하는 제1공정. ② 2vol% 이상의 H2O2수용액으로 세정하는 제2공정. ③ 순수로 세정하는 제3공정으로 구성한다. 회전 브러시 등과 벙용하는 장치를 고려했다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 에너지·환경기계
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-04-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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