일반기술

에이징 기반의 검사장치 및 그것을 이용한 검사방법

LSI제조업체에서는 IC를 출하하기 전에는 반드시 에이징검사를 실시하고 있는데, 에이징검사에 이용하는 에이징 기판은 검사중에 늘 고온에 노출되어있기 때문에, 열에 의한 손상이 심하고, 배선이 절단되거나, 산화물의 생성에 의해 다른 회로와 전기적으로 단락하거나 하는 등의 불량품이 종종 발생한다.이러한 상황이 발생하면 정상적인 검사를 할 수가 없기 때문에, 에이징 기판자체에 이상이 있는지 여부에 대한 검사가 필요하게 된다. 본 장치는 에이징 기판상의 입력단자로부터 검사소켓의 단자까지의 사이의 신호회선의 절선 또는 단락을 검출하기 위해서, 신호회로를 전기적 특성에 따라 여러 종류의 속성으로 분류하고, 각각의 신호회로에 대하여, 특정한 상황하에서 정전류를 통전했을 때 출력단자에 발생하는 전압을 어느 기준치와 비교하므로써, 회로의 좋고나쁨을 판정하는 것이다. 에이징 기판의 철저한 관리와 신뢰성의 향상 -> IC의 적정한 품질관리가 가능