일반기술

유기 EL 소자의 제조 방법

본 기술은 유기 EL 소자의 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게, 유기 EL 소자를 제조하기 위한 전반적인 공정을 단순화할 수 있는 유기 EL 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 기술에 따른 유기 EL 소자의 제조 공정은 상기 절연층과 격벽층을 형성하기 위해 각각 별도의 포토리소그라피 공정을 진행하기 때문에 공정이 복잡하고 작업 공수가 증가하여 소자의 불량발생률이 증가하는 문제가 있다. 또한, 상기 절연층과 격벽층을 형성하기 위한 두 번의 포토리소그라피 공정은 유기 EL 소자의 전반적인 제조 공정 시간을증가시키며, 그에 따라, 유기 EL 소자의 제조 원가가 상승하는 동시에 수율이 낮아지는 문제가 있다. 본 기술은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 유기 EL 소자의 절연층과 격벽층을 단일한 포토리소그라피 공정을 통해 형성하여 유기 EL 소자의 전반적인 제조 공정을 단순화하는 유기 EL 소자의 제조 방법을 제공하는 데 있다. 본 기술은 투명 기판 위에 어느 한 방향으로 뻗어 있는 복수의 양전극층을 형성하는 단계와, 상기 복수의 양전극층이 형성된 기판 전면에 포지티브 감광막과 네거티브 감광막을 순차 형성하는 단계와, 상기 네거티브 감광막의 격벽 형성 영역에 빛을 조사하는 제1 노광 공정을 진행하는 단계와, 상기 제1 노광된 네거티브 감광막에 PEB를 진행하는 단계와, 포지티브 감광막의 절연층 형성 영역 이외의 영역에 빛을 조사하는 제2 노광 공정을 진행하는 단계와, 상기 노광된 네거티브 감광막 및 포지티브 감광막을 현상하는 단계와, 현상된 네거티브 감광막 및 포지티브 감광막에 하드베이크 공정을 진행하여 격벽층과 절연층을 동시에 형성하는 단계 및 상기 격벽층이 형성된 기판의 양전극층 위에 유기 박막층 및 음전극층을 순차 형성하는 단계를 포함하는 유기 EL 소자의 제조 방법으로 구성되어 있다. 본 기술은 유기 EL 소자의 절연층과 격벽층을 한번의 포토리소그라피 공정을 통해 동시에 형성함으로써, 유기 EL 소자의 전반적인 제조 공정 단계를 단순화시켜 유기 EL 소자의 전반적인 제조 공정의 경제성 및 수율 향상에 크게 기여할 수 있고, 포토리소그라피 공정의 진행 횟수를 감소시켜 소자의 불량발생률이 감소시킬 수 있는 장점 있다.