일반기술

유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법

본 기술은 산소(Oxygen)와 수분(Moisture)에 대한 배리어 특성(Barrier characteristics)을 갖는 유기 전계발광 표시 소자의 제조 방법에 관한 것이다 종래 기술에 따른 필름 형 봉지 방식은 상기 열처리 시, 기판 위에 형성되어 있는 유기 EL 소자가 손상되는 것을 방지하기 위해 순간적으로 표면층의 온도가 700℃ 이사상의 고온으로 상승시키기 때문에 배리어막의 전체를 고밀도 균질막으로 변화시키지 못하고 배리어막의 상부 표면의 일부 두께만을 변화시키는 문제가 있다. 상기 배리어막이 상부 표면의 일부 두께만 고밀도 균질막으로 변화되면, 배리어막 양 끝단부의 변화되지 않은 부분이 여전히 수분 및 산소 등의 투과할 수 있는 침투 통로로 제공되어 유기EL 소자를 열화시키는 문제가 있다. 본 기술은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 수분 및 산소의 투과를 방지하는 배리어막의 최외각 표면을 모두 고밀도 균질막으로 변화시켜, 배리어막의 결함으로 인한 외부의 수분 및 산소의 침투 통로를 완전히 차단하는 유기 전계발광 표시 소자의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 기술은, 유기 EL 소자가 형성된 기판 위에 실리콘 계열의 배리어막을 형성하는 단계와, 상기 유기 EL 소자와 접하는 배리어막을 소정 출력의 레이저로 제 1 차 열처리하는 단계와,상기 유기 EL 소자와 접하지 않는 배리어막을 상기 제 1 차 열처리 단계보다 높은 출력의 레이저로 제 2 차 열처리하는 단계로 구성되어 있다. 본 기술은 유기 EL 소자를 덮는 배리어막의 최외각 표면을 모두 고밀도 균질막으로 변화시켜 외부의 수분 및 산소 등의 침투 통로를 완전히 차단할 수 있다. 따라서 본 기술은 외부의 수분 및 산소 등의 침투를 차단하여 유기 EL 소자가 열화되는 것을 최소화할 수 있는 장점이 있다.