일반기술

유기 전계 발광 소자의 제조 밥법

본 기술은 유기 전계 발광 소자의 공정 원가를 크게 감소시킬 수 있는 동시에, 절연막 및 격벽 내부에 잔존하는 유기 용매 또는 수분 등의 화소부로의 방출 및 이에 따른 화소부의 열화를 방지하여, 소자의 품질 및 신뢰성을 확보할 수 있는 유기전계 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 종래의 기술은 고가의 상변환 감광막을 여전히 사용하고 있으므로, 유기 전계 발광 소자의 공정 원가가 높아지는 문제점을 완전히 해결하지는 못하고 있으며, 더구나, 상기 하드베이크 공정에 의해 완전히 제거되지 않고 상기 절연막 및 격벽 내에 잔류하는 수분 및 유기 용매가 아웃개싱에 의해 화소부를 오염시켜 유기 전계 발광 소자의 품질을 저하시키고 수명을 단축시키는 문제점이 있다. 본 기술은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 단일층의 일반적인 포지티브 또는 네가티브 감광막을 이용하여 절연막 및 격벽을 모두 형성할 수 있어서 공정 원가가 크게 절감되면서도, 상기 절연막 및 격벽에 잔류하는 수분 또는 유기 용매의 아웃개싱에 의해 화소부가 열화되는 종래 기술의 문제점을 해결할 수 있는 유기 전계 발광 소자의 제조방법을 제공한다. 본 기술은 기판 상에 줄무늬 형상의 복수의 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극이 형성된 기판 전면에 포지티브 감광막을 형성하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극과 직교하는 제 1 영역 및 상기 복수의 제 1 전극 사이의 제 2 영역에만 잔류하도록 상기 포지티브 감광막을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포지티브 감광막 중 상기 복수의 제 1 전극과 직교하는 제 3 영역에 제 1 노광하는 단계; 상기 제 1 노광된 포지티브 감광막을 제 1 실릴화하는 단계; 상기 제 1 영역, 제 2 영역 및 제 3 영역의 포지티브 감광막을 산소 플라즈마로 애싱 처리하는 단계; 및 상기 애싱 처리된 결과물을 하드베이크하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법으로 구성되어 있다. 본 기술은 고가의 상변환 감광막 또는 하프톤 마스크를 전혀 사용하지 않더라도, 소자의 전체적인 공정 원가가 크게 절감되고, 유기 전계 발광 소자의 구동 중에, 상기 수분 또는 유기 용매에 의해 화소부가 열화 되어 흑점 등의 불량을 발생시키는 문제점을 상당 부분 방지할 수 있으므로, 소자의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 동시에 수명 또한 연장시킬 수 있다. 그리고 , 소수성의 실리콘 산화막이 절연막 및 격벽 표면의 일부 또는 전부에 형성되어, 유기 전계 발광 소자의 제조공정 중 외부로부터의 수분이 상기 절연막 및 격벽으로 침투 혹은 흡착되는 문제점 또한 방지할 수 있는 장점이 있다.