일반기술

유기 발광 소자 검사용 패턴

본 기술은 유기 발광 소자의 데이터 라인을 종류 별로 나누어 검사할 수 있도록 하는 유기 발광 소자 검사용 패턴에 관한 것이다. 종래의 기술은 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 및 백색(W) 등의 멀티 칼라를 표시하는 유기 발광 소자의 경우, 이들 각 색채를 표시하기 위한 각각의 데이터 라인이 전혀 다른 물질로 이루어진 유기 발광층을 포함하게 되므로, 이러한 데이터 라인을 종류 별·색채 별로 나누어 검사할 필요성이 있음에도 불구하고, 종류에 무관하게 모든 데이터 라인에 동시에 전기적 신호를 인가하고 이들의 전기적·광학적 특성을 모두 함께 검사할 수밖에 없게 되므로, 이러한 데이터 라인의 종류 별·색채 별 검사가 불가능해지는 문제점이 있었다. 본 기술은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 유기 발광 소자의 데이터 라인을 종류 별로 나누어 검사할 수 있도록 하는 유기 발광 소자 검사용 패턴을 제공하기 위한 것이다. 본 기술은 검사 대상 유기 발광 소자의 복수의 제 1 내지 제 n 데이터 라인과 각각 연결되고 기판 상에 줄무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 1 내지 제 n 검사선과, 상기 복수의 제 1 내지 제 n 검사선 중 어느 하나의 제 1 내지 제 n 검사선과 각각 연결되는 제 1 내지 제 n 쇼트바와, 상기 복수의 제 1 내지 제 n 검사선 모두를 덮도록 형성되되, 검사 대상 유기 발광 소자로부터 제 1 내지 제 n 거리에서 각각 상기 복수의 제 1 내지 제 n 검사선을 개방하는 복수의 제 1 내지 제 n 개구부를 가지는 절연막과, 상기 복수의 제 1 내지 제 n 개구부와 중첩하지 않도록 상기 절연막 위에 상기 복수의 제 1 내지 제 n 검사선과 직교하게 형성되는 복수의 격벽과, 상기 복수의 제 1 내지 제 n 개구부 위에 각각 상기 복수의 제 1 내지 제 n 검사선과 직교하면서 전기적으로 연결되도록 형성되는 제 1 내지 제 n 연결 배선을 포함하는 유기 발광 소자 검사용 패턴으로 구성되어 있다. 본 기술은 유기 발광 소자의 데이터 라인을 종류 별, 색채 별로 나누어 광학적·전기적 특성 검사를 할 수 있으므로, 유기 발광 소자의 특성 및 신뢰도를 보다 정확하게 측정할 수 있어서, 유기 발광 소자의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 동시에, 공정 중에 유기 발광 소자의 불량 부분을 더욱 빠르고 정확하게 확인할 수 있으므로, 공정의 경제성에도 크게 기여할 수 있는 장점이 있다.